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工業(yè)流量控制器-北京曉韜科技有限公司-工業(yè)流量控制器多少錢(qián)

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氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達不上滿(mǎn)量程值; 若高過(guò)0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò)，即電磁閥漏氣?？蛻?hù)應用MFC時(shí), 無(wú)論客戶(hù)工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規定壓差范圍內, 而且壓差要相持續穩定。


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氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著(zhù)重要的作用。典型的應用場(chǎng)合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。


如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷有沒(méi)有氣體通過(guò)？

可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端，然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里，如果軟管口有氣泡冒出，證明MFC是有氣體通過(guò)的，不過(guò)需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內，也可以用手將出氣口堵死，觀(guān)察瞬時(shí)流量是否有下降，如果有下降，也證明有氣體通過(guò)，此時(shí)堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。


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